SurfixEX
規(guī)格
SurfixSX-FN1.5(探頭可選配)
外部固定探頭
測(cè)量范圍
FN1.5(0-1500um)取決于探頭
0 - 1,500m
準(zhǔn)確性
+/-（1m+讀數(shù)的1％）取決于探頭
+/-（1m+讀數(shù)的1％）
解析度
0.1m或0.2％的讀數(shù)（使用標(biāo)準(zhǔn)探頭）
0.1m或0.2％的讀數(shù)（使用標(biāo)準(zhǔn)探頭）
校準(zhǔn)方法
工作校準(zhǔn)，零校準(zhǔn)，單箔校準(zhǔn);零偏移
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