室后，先以機(jī)械回轉(zhuǎn)泵抽至310-3左右，再使用冷凝幫浦抽至210-6以下持續(xù)半小時，并且加熱基板到實(shí)驗(yàn)溫度，此時導(dǎo)入Ar氣氛O2氧氣在不同的氧氣氛下沉積，靶材表面濺鍍前處理以去除雜質(zhì)及氧化層，調(diào)整濺射功率到（100W）。
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