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子的蒸發(fā)速度愈高．納米粒子的獲得量愈多。

5）流動液面真空蒸鍍法
基本原理是：在高真空中蒸發(fā)的金屬原子在流動的油面內(nèi)形成極納米顆粒，產(chǎn)品為含有大量超微粒的糊狀油。
高真空中的蒸發(fā)是采用電子束加熱, 當(dāng)水冷銅坩堝中的蒸發(fā)原料被加熱蒸發(fā)時，打開快門，使蒸發(fā)物鍍在旋轉(zhuǎn)的圓盤表面上形成了納米粒子。 含有納米粒子的油被甩進(jìn)了真空室沿壁的容器中，然后將這種超微粒含量很低的油在真空下進(jìn)行蒸餾．使它成為濃縮的含有納米粒子的糊狀物。流動液面真空蒸鍍法的優(yōu)點：
① 可制備Ag、Au、Pd、Cu、Fe、Ni、Al、In等納米顆粒，平均粒徑約3nm，而用惰性氣體蒸發(fā)法很難獲得這樣小的微粒；
② 粒徑均勻、分布窄, 見右圖。
③ 納米顆粒分散地分布在油中。
④ 粒徑的尺寸可控，即通過改變蒸發(fā)條件來控制粒徑大小，例如蒸發(fā)速度、油的粘度、圓盤轉(zhuǎn)速等。圓盤轉(zhuǎn)速高．蒸發(fā)速度快．油的粘度高均使粒子的粒徑增大，最大可達(dá)8 nm。
6 ） 通電加熱蒸發(fā)法
此法是通過碳棒與金屬相接觸，通電加熱使金屬熔化．金屬與高溫碳反應(yīng)并蒸發(fā)形成碳化物納米顆粒。
下圖為制備SiC超微粒子的裝置圖。碳棒與Si板(蒸發(fā)材料)相接觸，在蒸發(fā)室內(nèi)充有Ar或He氣、壓力為1～10kP, 在碳棒與Si板間