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誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積 (LICVD)
(LICVD) 法制備納米粉末是近幾年興起的。激光束照在反應(yīng)氣體上形成了反應(yīng)焰，經(jīng)反應(yīng)在火焰中形成微粒，由氬氣攜帶進入上方微粒捕集裝置。該法利用反應(yīng)氣體分子(或光敏劑分子)對特定波長激光束的吸收，引起反應(yīng)氣體分子激光光解(紫外光解或紅外多光于光解)、激光熱解、激光光敏化和激光誘導(dǎo)化學(xué)合成反應(yīng)，在一定工藝條件下(激光功率密度、反應(yīng)池壓力、反應(yīng)氣體配比和流速、反應(yīng)溫度等)，獲得納米粒子空間成核和生長。






9）．化學(xué)蒸發(fā)凝聚法(CVC)
這種方法主要是通過有機物或金屬有機物分子熱解獲得納米陶瓷粉體。
其原理是利用高純惰性氣作為載氣，攜帶有機分子原料，例如六甲基二硅烷．進入鉬絲爐，溫度為1100～1400℃、氣氛的壓力保持在1～10 mbar的低氣壓狀態(tài)，在此環(huán)境下原料熱解形成團簇進一步凝聚成納米級SiC顆粒．最后附著在一個內(nèi)部充滿液氮的轉(zhuǎn)動的襯底上, 經(jīng)刮刀刮下進行納米粉體收集，示意圖如圖。
優(yōu)點：產(chǎn)量大，顆粒尺寸小，分布窄
10）．爆炸絲法
這種方法適用于制備納米金屬和合金粉體。
基本原理是先將金屬絲固定在一個充滿惰性氣體(50bar)的反應(yīng)室中，絲的兩端卡頭為兩個電極，它們與一個大電容相聯(lián)結(jié)形成回路